2007年
日本MRS学会奨励賞

Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)
M. Shinohara; K. Hara; Y. Takami; Y. Takaki; Y. Matsuda; H. Fujiyama
Proceedings of IC-PLANTS2012, 2012年

Bias Dependent Reactions of a Si(110) Substrate on Irradiation of Hydrogen Plasma
Y. Takami; K. Hara; Y. Takaki; M. Shinohara; Y. Matsuda; H. Fujiyama
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface
Kojiro Hara; Yoshiki Takami; Yuya Takaki; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface
Kojiro Hara; Yoshiki Takami; Yuya Takaki; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

Development of Multi Wire Stripper with Line-shaped Magnetron Plasmas
Y. Kobayashi; N. Matsuo; K Miyazaki; S. Nishiyama; M. Shinohara; H. Fujiyama
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

Wire Temperature in Removal of Brass Plating on Surface of Saw Wire by Coaxial Magnetron Plasmas
Naoshi Matsuo; Yusuke Kobayashi; Shin-ichiro Nishiyama; Masanori Shinohara; Hiroshi Fujiyama
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

Spectral Analysis of Sputtered Atoms by Optical Emission Spectroscopy
K. Miyazaki; Y. Kobayashi; N. Matsuo; S. Nishiyama; M. Shinohara; H. Fujiyama
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

Analysis of Atmospheric Pressure Plasma Reaction Process
Katsuhiro Amano; Akihiro Fukae; Masanori Shinohara; Hiroshi Fujiyama
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

Infrared Spectroscopic Study on Effects of Substrate Temperatures on Oxidation of Amorphous Carbon Films
Yuya TAKAKI; Kojiro HARA; Yoshiki TAKAMI; Masanori SHINOHARA; Yoshinobu MATSUDA; Hiroshi FUJIYAMA
Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年

FINE WIRE STRIPPING BY TRIANGLE-TYPE MAGNETRON PLASMAS
H. Fujiyama; N. Matsuo; Y. Kobayashi; K. Miyazaki; M. Shinohara; S. Nishiyama
Proceedings of International Workshop on Nanotechnology and Applications, 2011年

In-situ infrared spectroscopy of oxidation process of amorphous carbon film, depending on substrate temperatures
Masanori Shinohara; Yu-ji Takaki; Ko-jiro Hara; Yoshiki Takami; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Virtual proceedings of AVS-58, 2011年

Reaction process of Si surfaces with hydrogen plasm
Ko-jiro Hara; Masanori Shinohara; Yoshiki Takami; Yu-ji Takaki; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Virtual proceedings of AVS-58, 2011年

In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions
M. Shinohara; K. Hara; Y. Takami; Y. Takaki; A. Fukae; K. Amano; Y. Matsuda; H. Fujiyama
Proceedings of AEPSE2011, 2011年

Fine Wire Stripping by Triangle-type Magnetron Plasmas
H. Fujiyama; N. Matsuo; Y. Kobayashi; M. Shinohara; S. Nishiyama; N. Iwamoto
Proceedings of AEPSE2011, 2011年

Infrared Spectroscopic Study on a Reaction of Hydrogen Plasma with Si(110) surface
Masanori Shinohara; Ko-jiro Hara; Yoshiki Takami; Yu-ya Takaki; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Transactions of MRS-Japan, 2011年

1. Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)
M. Shinohara; K. Hara; Y. Takami; Y. Takaki; Y. Matsuda; H. Fujiyama
Proceedingd of IC-PLANTS, 2011年

Infrared Spectroscopic Study on a Reaction of Hydrogen Plasma with Si(110) surface
Shinohara Masanori; Hara Ko-jiro; Takami Yoshiki; Takaki Yu-ya; Matsuda Yoshinobu; Fujiyama Hiroshi
Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2011年

1. Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)
2011年

Difference of deposition process of an amorphous carbon film due to source gases
Masanori Shinohara; Hiroki Kawazoe; Takanori Inayoshi; Taka-aki Kawakami; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
THIN SOLID FILMS, 2010年04月

Difference of deposition process of an amorphous carbon film due to source gases
Masanori Shinohara; Hiroki Kawazoe; Takanori Inayoshi; Taka-aki Kawakami; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
THIN SOLID FILMS, 2010年04月

Deposition of transparent conducting Al-doped ZnO thin films by ICP-assisted sputtering
Ryota Shindo; Tadashi Iwata; Akinori Hirashima; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda
IEEE Region 10 Annual International Conference, Proceedings/TENCON, 2010年

Infrared Spectroscopic Study on Oxidation of Carbon Related Materials for Environmental Solution
Taka-aki Kawakami; Masanori Shinohara; Kojiro Hara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Energy Flux onto a Substrate during ICP Assisted Sputter-Deposition
Yoshinobu Matsuda; Hiroaki Kitagawa; Kenji Mine; Masanori.Shinohara
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Substrate temperature effects on amorphous carbon deposition process during acetylene plasma, investigated infrared spectroscopy
Kojiro Hara; Taka-aki Kawakam; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Infrared spectroscopic study on substrate bias effects on amorphous carbon deposition process during acetylene plasma Infrared spectroscopic study on substrate bias effects on amor・・・
Masanori Shinohara; Taka-aki Kawakami; Kojiro Hara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-Deposition of Al-doped ZnO Thin Films
Yoshinobu Matsuda; Ryota Shindo; Akinori Hirashima; Masanori.Shinohara
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積過程の観察
篠原正典; 松田良信; 藤山寛; 中谷達行
表面科学, 2010年

Infrared Spectroscopic Study on Hydrogen Plasma Induced Surface Reaction
Masanori Shinohara; Taka-aki Kawakami; Kojiro Hara; Hiroshi Fujiyama; Yoshinobu Matsuda; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
TENCON 2010: 2010 IEEE REGION 10 CONFERENCE, 2010年

Plasma Generation in Organic Solvent for Amorphous Carbon Film Deposition
Masanori Shinohara; Shuai Zhang; Kenji Kotani; Kazuhiko Akaki; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Transactions of MRS-Japan, 2010年

Substrate Bias Effects on Amorphous Carbon Film Deposition Process during Acetylene Plasma, Investigated with Infrared Spectroscopy
Masanori Shinohara; Hiroki Kawazoe; Taka-aki Kawakami; Takanori Inayoshi; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
Transactions of MRS-Japan, 2010年

アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析
篠原正典; 川副大樹; 稲吉孝紀; 河上貴聡; 原幸治郎; 松田良信; 藤山寛; 新田祐樹; 中谷達行
表面科学, 2010年

Deposition of transparent conducting Al-doped ZnO thin films by ICP-assisted sputtering
Ryota Shindo; Tadashi Iwata; Akinori Hirashima; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda
IEEE Region 10 Annual International Conference, Proceedings/TENCON, 2010年

Infrared Spectroscopic Study on Oxidation of Carbon Related Materials for Environmental Solution
YTaka-aki Kawakami; Masanori Shinohara; Kojiro Hara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Energy Flux onto a Substrate during ICP Assisted Sputter-Deposition
Yoshinobu Matsuda; Hiroaki Kitagawa; Kenji Mine; Masanori.Shinohara
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Substrate temperature effects on amorphous carbon deposition process during acetylene plasma, investigated infrared spectroscopy
Kojiro Hara; Taka-aki Kawakam; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Infrared spectroscopic study on substrate bias effects on amorphous carbon deposition process during acetylene plasma Infrared spectroscopic study on substrate bias effects on amor・・・
Masanori Shinohara; Taka-aki Kawakami; Kojiro Hara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-Deposition of Al-doped ZnO Thin Films
Yoshinobu Matsuda; Ryota Shindo; Akinori Hirashima; Masanori.Shinohara
Proceedings of the 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010年

Observation of Plasma Chemical Vapor Deposition Process of Amorphous Carbon Film
Masanori SHINOHARA; Yoshinobu MATSUDA; Hiroshi FUJIYAMA; Tatsuyuki NAKATANI
Journal os the Surface Science Society of Japan, 2010年

Infrared Spectroscopic Study on Hydrogen Plasma Induced Surface Reaction
Masanori Shinohara; Taka-aki Kawakami; Kojiro Hara; Hiroshi Fujiyama; Yoshinobu Matsuda; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
TENCON 2010: 2010 IEEE REGION 10 CONFERENCE, 2010年

Plasma Generation in Organic Solvent for Amorphous Carbon Film Deposition
Masanori Shinohara; Shuai Zhang; Kenji Kotani; Kazuhiko Akaki; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Transactions of MRS-Japan, 2010年

Substrate Bias Effects on Amorphous Carbon Film Deposition Process during Acetylene Plasma, Investigated with Infrared Spectroscopy
Masanori Shinohara; Hiroki Kawazoe; Taka-aki Kawakami; Takanori Inayoshi; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
Transactions of MRS-Japan, 2010年

Infrared spectroscopy pf amorphous carbon film deposition process using acetylene plasma
M. Shinohara; H. Kawazoe; T. Inayoshi; T. Kawakami; K. Hara; Y. Matsuda; H. Fujiyama; Y. Nitta; T. Nakatani
Journal of the Surface Science of Japana, 2010年

Substrate temperature effects on amorphous carbon film growth, investigated by infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry
Masanori Shinohara; Ken Cho; Yoshinobu Matsuda; Takanori Inayoshi; Hiroki Kawazoe; Hiroshi Fujiyama; Yuuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2009年07月

Substrate temperature effects on amorphous carbon film growth, investigated by infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry
Masanori Shinohara; Ken Cho; Yoshinobu Matsuda; Takanori Inayoshi; Hiroki Kawazoe; Hiroshi Fujiyama; Yuuki Nitta; Tatsuyuki Nakatani
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2009年07月

Interaction between hydrogen plasma and hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy
Masanori Shinohara; Ken Cho; Hiromichi Shibata; Keishi Okamoto; Tatsuyuki Nakatani; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
THIN SOLID FILMS, 2008年05月

Interaction between hydrogen plasma and hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy
Masanori Shinohara; Ken Cho; Hiromichi Shibata; Keishi Okamoto; Tatsuyuki Nakatani; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
THIN SOLID FILMS, 2008年05月

アモルファス炭素膜の成膜機構
柴田泰充; 篠原正典; 片桐輝昭; 岩辻圭太郎; 松田良信; 藤山 寛
電気学会研究会資料、プラズマ研究会, 2008年

growth process of amorphous carbon films
Hiromichi Shibata; Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
The papers of Technical Meetings on Plasma Science and Tecvhnology, IEE Japan, 2008年

Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry
Masanori Shinohara; Hiromichi Shibata; Ken Cho; Tatsuyuki Nakatani; Keishi Okamoto; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2007年05月

Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry
Masanori Shinohara; Hiromichi Shibata; Ken Cho; Tatsuyuki Nakatani; Keishi Okamoto; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2007年05月

SiH4 adsorption on SiGe(0 0 1)
F. Hirose; M. Shinohara; Y. Kimura; M. Niwano
Surface Science, 2007年02月15日

SiH4 adsorption on SiGe(001)
F. Hirose; M. Shinohara; Y. Kimura; M. Niwano
SURFACE SCIENCE, 2007年02月

プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析
篠原正典; 藤山 寛
Journal of Plasma Fusion Research, 2007年

Dependence of adsorption of hydrocarbon species generated in a methane plasma on substrate temperatures
Masanori Shinohara; Ken Cho; Tatsuyuki Nakatani; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
第25回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス, 2007年

Effects of hydrogen plasma treatment on amorphous carbon films
Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Keishi Okamoto; Tatsuyuki Nakatani
第25回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス, 2007年

Comparison of H density in Hydrogen/Ar and Methane/Ar ICPs
Yoshinobu Matsuda; Masanori Shinohara; Hiroshi Fujiyama
第25回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス, 2007年

Deposition of AZO Thin Films by ICP Assisted Magnetron Sputtering
Shiro Iwai; Yoshinobu Matsuda; Masanori Shinohara; Hiroshi Fujiyama
第25回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス, 2007年

Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma
Masanori Shinohara; Ken Cho; Yoshinobu. Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Keishi Okamoto; Tatsuyuki Nakatani
Transaction of MRS-J, 2007年

Investigattion of Reactions at the Subsurface in Plasma Deposition Process
M. Shinohara; H. Fujiyama
2007年

Dependence of adsorption of hydrocarbon species generated in a methane plasma on substrate temperatures
Proceedings of The 25th Symposium on Plasma Processing, 2007年

Effects of hydrogen plasma treatment on amorphous carbon films
Proceedings of The 25th Symposium on Plasma Processing, 2007年

Comparison of H density in Hydrogen/Ar and Methane/Ar ICPs
Proceedings of The 25th Symposium on Plasma Processing, 2007年

Deposition of AZO Thin Films by ICP Assisted Magnetron Sputtering
Proceedings of The 25th Symposium on Plasma Processing, 2007年

Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma
2007年

Hydrogen desorption from SiH4 adsorbed SiGe(001) surfaces
F Hirose; Y Kimura; M Shinohara; M Niwano
THIN SOLID FILMS, 2006年06月

Hydrogen desorption from SiH4 adsorbed SiGe(001) surfaces
F Hirose; Y Kimura; M Shinohara; M Niwano
THIN SOLID FILMS, 2006年06月

EVOLUTION OF HYDRIDE SPECIES ON SILICON SURFACE DURING PLASMA AND POST-ANNEALING
Masanori SHINOHARA; Hiromichi SHIBATA; Jun-ichi HAYASHI; Yoshinobu MATSUDA; Hiroshi FUJIYAMA
proceedings of JSST2006, 2006年

SPUTTER DEPOSITION OF AZO THIN FILMS ASSISTED WITH INDUCTIVELY COUPLED PLASMA
Yoshinobu MATSUDA; Yoshichika NAGANO; Shiro IWAI; Masanori SHINOHARA; Hiroshi FUJIYAMA
proceedings of JSST2006, 2006年

FUNCTIONAL SPUTTER-COATINGS OF INNER SURFACE OF NARROW TUBES BY THE SECOND HARMONIC ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA
Hiroshi FUJIYAMA; Tatsuyuki NAKATANI; Hiroshige UCHIDA; Yuuki NITTA; Yoshinobu. MATSUDA; Masanori SHINOHARA
proceedings of JSST2006, 2006年

医療用ツールへの応用を目指した極細管内壁コーティング法の開発
藤山 寛; 中谷達行; 新田祐樹; 篠原正典
表面技術協会ナノテク部会 第14回研究会資料, 2006年

PECVD法による炭素系薄膜形成の理解のためのリアルタイム赤外分光解析
篠原正典; 松田良信; 藤山 寛; 中谷達行
表面技術協会ナノテク部会 第14回研究会資料, 2006年

31. Deposition of Aluminum Doped Zinc Oxide Films by Inductively Coupled Plasma Assisted Sputtering
Yoshinobu Matsuda; Yoshichika Nagano; Shiro Iwai; Masanori Shinohara; Hiroshi Fujiyama
proceedings of 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing, 2006年

Controllability of bonding configurations of hydrocarbon species in amorphous carbon films
M. Shinohara; H. Shibata; J. Hayashi; H. Shimada; Y. Matsuda; H. Fujiyama
proceedings of 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing, 2006年

EVOLUTION OF HYDRIDE SPECIES ON SILICON SURFACE DURING PLASMA AND POST-ANNEALING
2006年

SPUTTER DEPOSITION OF AZO THIN FILMS ASSISTED WITH INDUCTIVELY COUPLED PLASMA
2006年

FUNCTIONAL SPUTTER-COATINGS OF INNER SURFACE OF NARROW TUBES BY THE SECOND HARMONIC ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA
2006年

31. Deposition of Aluminum Doped Zinc Oxide Films by Inductively Coupled Plasma Assisted Sputtering
2006年

Controllability of bonding configurations of hydrocarbon species in amorphous carbon films
2006年

Optical emission studies of atomic and ionic species in the ionized sputter-deposition process of magnesium oxide thin films
Y Matsuda; Y Koyama; M Iwaya; M Shinohara; H Fujiyama
THIN SOLID FILMS, 2005年03月

Oxidation of the hydrogen terminated silicon surfaces by oxygen plasma investigated by in-situ infrared spectroscopy
M Shinohara; T Katagiri; K Iwatsuji; Y Matsuda; H Fujiyama; Y Kimura; M Niwano
THIN SOLID FILMS, 2005年03月

Optical emission studies of atomic and ionic species in the ionized sputter-deposition process of magnesium oxide thin films
Y Matsuda; Y Koyama; M Iwaya; M Shinohara; H Fujiyama
THIN SOLID FILMS, 2005年03月

Oxidation of the hydrogen terminated silicon surfaces by oxygen plasma investigated by in-situ infrared spectroscopy
M Shinohara; T Katagiri; K Iwatsuji; Y Matsuda; H Fujiyama; Y Kimura; M Niwano
THIN SOLID FILMS, 2005年03月

The 2nd Harmonic ECR Low Pressure Micro Plasmas
H. Fujiyama; H. Inoue; D. Kurogi; Y. Furue; M. Shinohara; Y. Matsuda
17th International symposium on plasma chemistry Abstracts and full-papers, 2005年

Narrow Tube Inner Coating by Low Pressure Micro Plasma Sputtering
H. Uchida; M. Kumamoto; H. Fujiyama; M. Shinohara; Y. Matsuda
17th International symposium on plasma chemistry Abstracts and full-papers, 2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma
H. Shibata; T. Katagiri; K. Iwatsuji; M. Shinohara; Y.Matsuda; H. Fujiyama
proceedings of 17th International symposium on plasma chemistry, 2005年

マイクロホロカソード光源を用いた真空紫外吸収分光法の開発
井手義行; 篠原正典; 松田良信; 藤山寛
長崎大学工学部研究報告, 2005年

多重外部反射赤外分光法の開発
倉本宰弘; 篠原正典; 松田良信; 藤山寛
長崎大学工学部研究報告, 2005年

細菅内壁コーティングのためのヘリコン波プラズマ源の開発
小島裕爾; 篠原正典; 松田良信; 藤山寛
長崎大学工学部研究報告, 2005年

Oxide Thin Film Deposition Using Inductively-Coupled Plasma Assisted Sputtering
M. Iwaya; M. Hokamura; T. Kawakami; Y. Nagano; Y. Matsuda; M. Shinohara; H. Fujiyama
Proceedings of Plasma Science Symposium, 2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma
岩辻圭太郎; 片桐輝昭; 柴田泰充; 篠原正典; 松田良信; 藤山寛
プラズマ科学シンポジウム/第22回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 2005年

Plasma oxidation process of silicon surfaces investigated by infrared spectroscopy
M Shinohara; T Katagiri; K Iwatsuji; Y Matsuda; Y Kimura; M Niwano; H Fujiyama
JOURNAL OF ADVANCED OXIDATION TECHNOLOGIES, 2005年01月

The 2nd Harmonic ECR Low Pressure Micro Plasmas
2005年

Narrow Tube Inner Coating by Low Pressure Micro Plasma Sputtering
2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma
H. Shibata; T. Katagiri; K. Iwatsuji; M. Shinohara; Y.Matsuda; H. Fujiyama
proceedings of 17th International symposium on plasma chemistry, 2005年

マイクロホローカソード光源を用いた真空紫外吸収分光法の開発
井手 義行; 篠原 正典; 松田 良信; 藤山 寛
長崎大学工学部研究報告, 2005年

A Development of Multiple External Reflection infrared Spectroscopy
Tadahiro Kuramoto; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Reports of The faculty of Engineering Nagasaki University, 2005年

Development of Helicon Plasama Source for the Inside Wall Coating of Narrow Tubes
Yuji Kojima; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Reports of The faculty of Engineering Nagasaki University, 2005年

Oxide Thin Film Deposition Using Inductively-Coupled Plasma Assisted Sputtering
2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma
Keitaro Iwatsuji; Teruaki Katagiri; Hiromichi Shibata; Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 / The 22nd Symposium on Plasma Processing, 2005年

Plasma oxidation process of silicon surfaces investigated by infrared spectroscopy
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Yasuo Kimura; Michio Niwano; Hiroshi Fujiyama
J. Adv. Oxid. Technol., 2005年

Oxygen-plasma induced hydrogen desorption from hydrogen-terminated Si(100) and (111) surfaces investigated by infrared spectroscopy
M Shinohara; T Katagiri; K Iwatsuji; Y Matsuda; H Fujiyama; Y Kimura; M Niwano
THIN SOLID FILMS, 2004年10月

Oxygen-plasma induced hydrogen desorption from hydrogen-terminated Si(100) and (111) surfaces investigated by infrared spectroscopy
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yasuo Kimura; Michio Niwano
Thin Solid Films, 2004年10月

メタンプラズマCVD法による薄膜形成過程の赤外分光解析
柴田泰充; 篠原正典; 片桐輝昭; 岩辻圭太郎; 松田良信; 藤山 寛
電気学会研究会資料、, 2004年

GROWTH PROCESS OF DLC FILMS INVESTIGATED BY IN-SITU INFRARED SPECTROSCOPY
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yasutomo Shibata; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
proceedings of JSST 2004, 2004年

Dynamics of Si Surface-hydrogen during Oxygen-plasma
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yasuo Kimura; Michio Niwano
proceedings of plasma Nano-technology, 2004年

Behavior of hydrogen on Si surface during oxygen-plasma
篠原正典; 松田良信; 藤山 寛; 木村康男; 庭野道夫
第21回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス, 2004年

Effect of inductively-coupled plasma assist on the crystal orientation of magnesium oxide thim films produced by reactive sputtering
Y. Matsuda; M. Iwaya; Y. Koyama; M. Shinohara; H. Fujiyama
Thin Solid Films, 2004年

酸素プラズマ中でのSi表面水素の挙動
篠原正典; 片桐輝昭; 岩辻圭太郎; 松田良信; 藤山寛; 木村康男; 庭野道夫
表面科学, 2004年

Infrared spectroscopy of growth process of diamond like carbon film using methane plasma-CVD
Hiromichi Shibata; Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
2004年

GROWTH PROCESS OF DLC FILMS INVESTIGATED BY IN-SITU INFRARED SPECTROSCOPY
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yasutomo Shibata; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
proceedings of JSST 2004, 2004年

Dynamics of Si Surface-hydrogen during Oxygen-plasma
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yasuo Kimura; Michio Niwano
proceedings of plasma Nano-technology, 2004年

Behavior of hydrogen on Si surface during oxygen-plasma
Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yasuo Kimura; Michio Niwano
Proceedings of The 21th Symposium on Plasma Processing, 2004年

Effect of inductively-coupled plasma assist on the crystal orientation of magnesium oxide thim films produced by reactive sputtering
2004年

酸素プラズマ中でのSi表面水素の拳動
篠原 正典; 片桐 輝昭; 岩辻 圭太郎; 松田 良信; 藤山 寛; 木村 康男; 庭野 道夫
表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan, 2004年

Behavior of hydride species on Si surface during methane plasma irradiation investigated by in-situ infrared spectroscopy
M Shinohara; T Kuwano; Y Kimura; M Niwano
THIN SOLID FILMS, 2003年07月

Behavior of hydride species on Si surface during methane plasma irradiation investigated by in-situ infrared spectroscopy
Masanori Shinohara; Takayuki Kuwano; Yasuo Kimura; Michio Niwano
Thin Solid Films, 2003年07月01日

In-situ observation of chemical states of a Si electrode surface during a galvanostatic oscillation in fluoride electrolytes using infrared absorption spectroscopy
Y Kimura; J Nemoto; M Shinohara; M Niwano
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH, 2003年05月

X-ray diffraction of magnesium oxide thin films produced by reactive ionized sputtering
Y. Matsuda; Y. Koyama; M. Iwaya; M. Shinohara; H. Fujiyama
電気学会研究会資料, 2003年

Plasma oxidation process of silicon surfaces investigated by infrared spectroscopy
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Yasuo Kimura; Michio Niwano; Hiroshi Fujiyama
電気学会研究会資料、, 2003年

走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
馬場健次; 篠原正典; 藤山寛; 山本恭一; 宇山春夫
長崎大学工学部研究報告, 2003年

MgO薄膜高速成膜のための誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリング法の開発
小山悠; 岩谷勝; 篠原正典; 松田良信; 藤山寛
長崎大学工学部研究報告, 2003年

基板表面磁界がスパッタ薄膜結晶配向性に及ぼす影響
丸本洋; 松田良信; 篠原正典; 藤山寛
長崎大学工学部研究報告, 2003年

Behavior of hydrogen at Si subsurface
篠原正典; 松田良信; 藤山 寛; 木村康男; 庭野道夫
第20回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス, 2003年

"In-situ observation of chemical states of a Si electrode surface during a galvanostatic oscillation in fluoride electrolytes using infrared absorption spectroscopy"
Yasuo Kimura; Jun Nemoto; Masanori Shinohara; Michio Niwano
Surface Review Letters, 2003年

ベンゼン分子の吸着過程
渡辺隼人; 篠原正典; 木村康男; 斎藤峯雄; 庭野道夫
表面科学, 2003年

Interaction of hydrogen-terminated Si(100), (110), and (111) surfaces with hydrogen plasma investigated by in situ real-time infrared absorption spectroscopy
M Shinohara; T Kuwano; Y Akama; Y Kimura; M Niwano; H Ishida; R Hatakeyama
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2003年01月

X-ray diffraction of magnesium oxide thin films produced by reactive ionized sputtering
2003年

Plasma oxidation process of silicon surfaces investigated by infrared spectroscopy
Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Yasuo Kimura; Michio Niwano; Hiroshi Fujiyama
2003年

走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
馬場 健次; 篠原 正典; 藤山 寛; 山本 恭一; 宇山 春夫
長崎大学工学部研究報告, 2003年

MgO薄膜高速成膜のための誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリング法の開発
小山 悠; 岩谷 勝; 篠原 正典; 松田 良信; 藤山 寛
長崎大学工学部研究報告, 2003年

Influence of Magnetic Field near Substrate Surface on Crystak Orientation of Sputtered Thin films
Hiroshi Marumoto; Yoshinobu Matsuda; Masanori Shinohara; Hiroshi Fujiyama
Reports of The faculty of Engineering Nagasaki University, 2003年

Behavior of hydrogen at Si subsurface
Masanori Shinohara; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama; Yasuo Kimura; Michio Niwano
Proceedings of The 20th Symposium on Plasma Processing, 2003年

Adsorption of Benzen on Si(100) Surface
H. Watanabe; M. Shinohara; Y. Kimura; M. Saito; M. Niwano
Journal of the Surface Science Society of Japan, 2003年

Interaction of hydrogen-terminated Si(100), (110), and (111) surfaces with hydrogen plasma investigated by in situ real-time infrared absorption spectroscopy
M Shinohara; T Kuwano; Y Akama; Y Kimura; M Niwano; H Ishida; R Hatakeyama
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2003年01月

Infrared spectroscopy study of adsorption of silane on Si(0 0 1)
Masanori Shinohara; Yasuo Kimura; Mineo Saito; Michio Niwano
Surface Science, 2002年04月10日

Synchrotron radiation photoemission and infrared spectroscopy study of adsorption and decomposition of dichlorosilane on Si(100)(2 x 1)
N Kamakura; M Shinohara; H Watanabe; T Kuwano; A Seyama; Y Kimura; M Niwano
SURFACE REVIEW AND LETTERS, 2002年04月

Synchrotron radiation photoemission and infrared spectroscopy study of adsorption and decomposition of dichlorosilane on Si(100)(2 x 1)
Nozomu Kamakura; Masanori Shinohara; Hayato Watanabe; Takayuki Kuwano; Akio Seyama; Yasuo Kimura; Michio Niwano
Surface Review and Letters, 2002年04月

メタンプラズマCVD法による薄膜形成過程の赤外分光解析
柴田泰充; 篠原正典; 片桐輝昭; 岩辻圭太郎; 松田良信; 藤山 寛
電気学会研究会資料、プラズマ研究会, 2002年

水素プラズマ処理効果のSi面方位依存性
篠原正典; 桑野隆行; 木村康男; 庭野道夫; 松田良信; 藤山 寛
電気学会研究会資料、, 2002年

ダイヤモンド・プラズマCVDの反応機構に関する研究
桑野隆行; 篠原正典; 木村康男; 庭野道夫
東北大学電通談話会, 2002年

半導体表面上の有機高分子薄膜形成に関する研究
渡辺隼人; 篠原正典; 木村康男; 庭野道夫
東北大学電通談話会, 2002年

Infrared reflection spectroscopic investigation of adsorption of SiHx(CH3)(4-x) on Si surfaces
M Shinohara; D Shoji; T Maehama; Y Akama; M Niwano
ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN PART II-ELECTRONICS, 2002年

"Origin of type-C defects on the Si(100)-(2×1) surface"
M. Nishizawa; T. Yasuda; S. Yamasaki; K. Miki; M. Shinohara; N. Kamakura; Y. Kimura; M. Niwano
Physical Review B, 2002年

"Formation and decompositon of Si hydride during adsorption of Si₂H₆ onto Si(100)(2×1)
M. Shinohara; A. Seyama; Y. Kimura; M. Niwano; M. Saito
Physical Review B,, 2002年

半導体表面・界面反応の赤外分光観察
庭野道夫; 篠原正典; 木村康男
応用物理学会, 2002年

"Infrared spectroscopy study of adsorption of silane on Si(100)"
M. Shinohara; Y. Kimura; M. Saito; M. Niwano
Surface Science ELSEVIER, 2002年

Infrared spectroscopy of growth process of diamond like carbon film using methane plasma-CVD
Hiromichi Shibata; Masanori Shinohara; Teruaki Katagiri; Keitaro Iwatsuji; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
The papers of Technical Meetings on Plasma Science and Tecvhnology, IEE Japan, 2002年

The dependence on the crystallographic orientation of the Si surface with hydrogen plasma treatment
Masanori Shinohara; Takayuki Kuwano; Yauo Kimura; Michio Niwano; Yoshinobu Matsuda; Hiroshi Fujiyama
2002年

A study of reaction mechanism of diamond plasma CVD
Takayuki Kuwano; Masanori Shinohara; Yasuo Kimura; Michio Niwano
The Record of Elecrical and Cmunication Engineering Conversation, 2002年

A study of formation if organic marcromolecules thin films on semiconductor surface
Hayato Watanabe; Masanori Shinohara; Yasuo Kimura; Michio Niwano
The Record of Elecrical and Cmunication Engineering Conversation, 2002年

Infrared reflection spectroscopic investigation of adsorption of SiHx(CH3)(4-x) on Si surfaces
M Shinohara; D Shoji; T Maehama; Y Akama; M Niwano
ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN PART II-ELECTRONICS, 2002年

"Origin of type-C defects on the Si(100)-(2×1) surface"
M. Nishizawa; T. Yasuda; S. Yamasaki; K. Miki; M. Shinohara; N. Kamakura; Y. Kimura; M. Niwano
Physical Review B, 2002年

Formation and decompositon of Si hydride during adsorption of Si₂H₆ onto Si(100)(2×1)
M. Shinohara; A. Seyama; Y. Kimura; M. Niwano; M. Saito
Physical Review B,, 2002年

Infrared spectroscopy pbservation of reactions at semiconductor surface and interface
M. Niwano; M. Shinohara; Y. Kimura
Surface Science ELSEVIER, 2002年

Hydrogen adsorption and desorption processes on Si(100)
M Terashi; J Kuge; M Shinohara; D Shoji; M Niwano
APPLIED SURFACE SCIENCE, 1998年06月

Hydrogen adsorption and desorption processes on Si(100)
M Terashi; J Kuge; M Shinohara; D Shoji; M Niwano
APPLIED SURFACE SCIENCE, 1998年06月

Oxidation processes on the H2O chemisorbed Si(100) surface studied by in-situ infrared spectroscopy
M Niwano; M Terashi; M Shinohara; D Shoji; N Miyamoto
SURFACE SCIENCE, 1998年04月

Oxidation processes on the H2O chemisorbed Si(100) surface studied by in-situ infrared spectroscopy
M Niwano; M Terashi; M Shinohara; D Shoji; N Miyamoto
SURFACE SCIENCE, 1998年04月

水素プラズマ－シリコン結晶の相互作用の基板バイアス効果
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第15回支部大会, 2011年

水素プラズマによるシリコン結晶のアモルファス化の基板温度依存性
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第15回支部大会, 2011年

大気圧プラズマでの生成物の解析
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第15回支部大会, 2011年

エッチングプロセスにおけるスパッタ粒子のスペクトル解析
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第15回支部大会, 2011年

容量結合RFプラズマ重畳DCマグネトロン放電の放電特性
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第15回支部大会, 2011年

リトロー型外部共振器半導体レーザーを用いたAr-ICP中気体温度の吸収分光計測
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第15回支部大会, 2011年

プラズマプロセスの赤外分光解析
電気学会プラズマ研究会, 2011年

DLC薄膜のプラズマ酸化過程における基板温度依存性
応用物理学会九州支部学術講演会, 2011年

マルチ同軸マグネトロンプラズマを用いたソーワイヤのブラスめっき除去プロセスの開発
応用物理学会九州支部学術講演会, 2011年

プラズマストリッピングプロセスにおけるソーワイヤの温度上昇
応用物理学会九州支部学術講演会, 2011年

プラズマ気体温度計測用外部共振器型半導体レーザーの製作
応用物理学会九州支部学術講演会, 2011年

サーマルプローブのパルス応答による基板入射熱流束の測定
応用物理学会九州支部学術講演会, 2011年

Infrared Spectroscopic Study on Effects of Substrate Temperatures on Oxidation of Amorphous Carbon Films
Plasma Conference, 2011年

Analysis of Atmospheric Pressure Plasma Reaction Process
Plasma Conference, 2011年

Spectral Analysis of Sputtered Atoms by Optical Emission Spectroscopy
Plasma Conference, 2011年

Wire Temperature in Removal of Brass Plating on Surface of Saw Wire by Coaxial Magnetron Plasmas
Plasma Conference, 2011年

Development of Multi Wire Stripper with Line-shaped Magnetron Plasmas
Plasma Conference, 2011年

Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface
Plasma Conference, 2011年

Bias Dependent Reactions of a Si(110) Substrate on Irradiation of Hydrogen Plasma
Plasma Conference, 2011年

FINE WIRE STRIPPING BY TRIANGLE-TYPE MAGNETRON PLASMAS
International Workshop on Nanotechnology and Applications, 2011年

Reaction process of Si surfaces with hydrogen plasma
AVS 58th International Symposium, 2011年

In-situ infrared spectroscopy of oxidation process of amorphous carbon film, depending on substrate temperatures
AVS 58th International Symposium, 2011年

In-situ Monitoring of Plasma-induced Reactions with Infrared Spectroscopy
3rd International Workshop on Plasma Scientech for All Something, 2011年

Fine Wire Stripping by Triangle-type Magnetron Plasmas
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, 2011年

In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, 2011年

プラズマが誘起する表面反応の赤外分光解析
電気学会プラズマ研究会, 2011年

Thermal Probe Measurements of Energy Flux onto a Substrate during ICP Assisted Sputter-Deposition
20th International Symposium of Plasma Chemistry, 2011年

Absorption Measurement of Sputtered Atom Density during ICP-Assisted Sputter-Deposition of Al-doped ZnO Thin Films
20th International Symposium of Plasma Chemistry, 2011年

誘導結合プラズマ支援スパッタリングにおける基板入射熱流束測定
九州表面・真空研究会2011(第16回九州薄膜表面研究会), 2011年

LEDを用いたスパッタAl原子密度の吸収計測
九州表面・真空研究会2011(第16回九州薄膜表面研究会), 2011年

マルチプラズマ型ワイヤストリッパーの開発
九州表面・真空研究会2011(第16回九州薄膜表面研究会), 2011年

同軸マグネトロンプラズマを用いたソーワイヤのブラスめっき除去
九州表面・真空研究会2011(第16回九州薄膜表面研究会), 2011年

アモルファス炭素薄膜のプラズマ酸化過程における基板温度依存
九州表面・真空研究会2011(第16回九州薄膜表面研究会), 2011年

水素プラズマ‐シリコン表面相互反応のバイアス依存性
九州表面・真空研究会2011(第16回九州薄膜表面研究会), 2011年

シリコン基板への水素プラズマ処理効果の基板温度依存性
九州表面・真空研究会2011(第16回九州薄膜表面研究会), 2011年

プラズマーシリコン表面相互作用で誘起される欠陥生成メカニズムの解明～3
新学術領域「プラズマナノ界面」 全体会議, 2011年

誘導結合プラズマ支援スパッタ過程における基板入射熱流束測定
応用物理学会連合講演会, 2011年

紫外LEDを用いたスパッタAl原子密度の吸収計測(II)
応用物理学会連合講演会, 2011年

シリコンロッド切削用ソーワイヤのプラズマによる高性能化 -ウェットからドライプロセスへ-
応用物理学会連合講演会, 2011年

シリコン基板への水素プラズマ処理効果の赤外分光計測
応用物理学会連合講演会, 2011年

大気圧プラズマが誘起する反応の赤外吸収分光計測装置の試作
応用物理学会連合講演会, 2011年

Infrared Spectroscopic Study on Reaction of Hydrogen Plasma with Si surface
International Symposium onAdvanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma), 2011年

Removal of Brass Plating on Surface of Saw Wire by Three-Phase AC Triangle Plasmas
apan-Taiwan 4 Universities Joint Symposium on Material Science for Next Generation Energy and Nano Science, 2011年

Distribution of Discharge Current Density to Wires in Plasma with Multi Triangle Electrodes for Wire Stripping
apan-Taiwan 4 Universities Joint Symposium on Material Science for Next Generation Energy and Nano Science, 2011年

Infrared Spectroscopic Study on Effects of Substrate Temperatures on Oxidation of Amorphous Carbon Films
apan-Taiwan 4 Universities Joint Symposium on Material Science for Next Generation Energy and Nano Science, 2011年

Dependence of Gap Length on Coaxial Magnetron Type Triangle Plasmas for Wire Stripping
apan-Taiwan 4 Universities Joint Symposium on Material Science for Next Generation Energy and Nano Science, 2011年

Hydrogen Insertion Process into Silicon Crystal from Si(100) Surface
apan-Taiwan 4 Universities Joint Symposium on Material Science for Next Generation Energy and Nano Science, 2011年

プラズマーシリコン表面相互作用で誘起される欠陥生成メカニズムの解明3
新学術領域新学術全体会議, 2011年

プラズマプロセスの赤外分光解析
8. 原子分子光の素過程とプラズマ分光の研究フロンティア」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会, 2011年

プラズマーシリコン表面相互作用で誘起される欠陥生成メカニズムの解明2
新学術領域新学術全体会議, 2011年

Substrate Bias Effect on Interaction between Hydrogen plasma and Si crystal
2011年

Substrate temperature dependence of transformation of Si crystal into amorphous phase due to hydrogen Temperature Dependence of transformation of Si crystal into amorphous phase due to hydrogen plasma
2011年

Analysisof Generated Species during atmospheric plasma
2011年

Spectroscopic Analysis of Sputtered atoms in etching process
2011年

Characteristics of Discharge of DC Magnetron Plasma superimposed with Capasitive Coupled RF plasma
2011年

Absorption Spectroscopy of Gas Temperature during Ar-ICP using LITTROW External Resonator Semiconductor Laser system
2011年

Infrared spectroscopic Study of Plasma Process
2011年

Sustrate Temperature Dependence of Plasma Oxidation Process of DLC films
2011年

Development of Removal Process of Blass Plating Using Multi-Coaxial Magnetron Plasma
2011年

Temeprature of Saw wire during plasma strinpping process
2011年

Development of Semiconductor Laser System for Measurement of Plasma gas temperature
2011年

Measurement of thermal flux into substrate using pulse response
2011年

Infrared Spectroscopic Study on Effects of Substrate Temperatures on Oxidation of Amorphous Carbon Films
2011年

Analysis of Atmospheric Pressure Plasma Reaction Process
2011年

Spectral Analysis of Sputtered Atoms by Optical Emission Spectroscopy
2011年

Wire Temperature in Removal of Brass Plating on Surface of Saw Wire by Coaxial Magnetron Plasmas
2011年

Development of Multi Wire Stripper with Line-shaped Magnetron Plasmas
2011年

Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface
2011年

Bias Dependent Reactions of a Si(110) Substrate on Irradiation of Hydrogen Plasma
2011年

FINE WIRE STRIPPING BY TRIANGLE-TYPE MAGNETRON PLASMAS
2011年

Reaction process of Si surfaces with hydrogen plasma
2011年

In-situ infrared spectroscopy of oxidation process of amorphous carbon film, depending on substrate temperatures
2011年

In-situ Monitoring of Plasma-induced Reactions with Infrared Spectroscopy
2011年

Fine Wire Stripping by Triangle-type Magnetron Plasmas
2011年

In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions
2011年

Infrared spectroscopic Study of Plasma Induced Surface Reactions
2011年

Thermal flux measuement into substrate during ICPsputtering
2011年

Absorption measurement of supttered Al atoms with LED
2011年

Development of Multi-plasma Type Wire Stripper
2011年

Removal of Brass of saw wire using coaxial magnetron plasma
2011年

Substrate Tempaerature Dependence of Oxidation of Amorphous Carbon Film
2011年

Substrate Bias Dependence of Interaction between Hydrogen Plasma and Si surface
2011年

Substrate Temperature Dependence of Hydrogen Plasma Exposure Effect on Si substrate
2011年

Analysis of mechanism of defect generation induced by interaction between plasma and silicon
2011年

Analysis of Mechnism of defect generation induced by interaction between plasma Si surface
2011年

Analysis of Mechnism of defect generation induced by interaction between plasma Si surface No.2
2011年

Reaction of Oxygen Plasma with Amorphous Carbon Films
日本MRS学術シンポジウム, 2010年

ワイヤストリッピング用同軸マグネトロン型トライアングルプラズマのギャップ長依存性
プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会, 2010年

温度平衡型サーマルプローブの時間応筓特性解析による熱流束測定の時間短縮
プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会, 2010年

三相交流トライアングルプラズマの放電特性とワイヤストリッピングへの応用
プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会, 2010年

水素プラズマ照射によるシリコンの欠陥生成に及ぼす基板バイアス依存性
プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会, 2010年

マルチトライアングル電極型ワイヤストリッピング用プラズマの放電電流密度分布
プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会, 2010年

LEDを用いたスパッタAl原子の吸収スペクトル測定
プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会, 2010年

重水素プラズマとアモルファス炭素薄膜の表面反応の「その場」「実時間」計測
プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会, 2010年

Al添加ZnO薄膜のICP支援スパッタにおける金属原子密度吸収分光測定の信頼性
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

紫外LEDを用いたスパッタAl原子吸収スペクトルの多チャンネル計測
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

熱流束捕集面積がサーマルプローブの時間応答特性に及ぼす影響
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

マルチハイブリッドプラズマ型ワイヤストリッパーの開発
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

同軸マグネトロンプラズマを用いたワイヤ表面ブラスめっき除去に関する研究
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

三相交流トライアングルプラズマを用いたソーワイヤ表面のブラスメッキ除去
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

酸素プラズマによるアモルファス炭素膜の酸化過程における基板温度依存性
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

Si基板に対するHプラズマ処理効果
応用物理学会九州支部学術講演会, 2010年

Deposition of Transparent Conducting Al-Doped ZnO Thin Films by ICP-Assisted Sputtering
IEEE TENCON 2010, 2010年

Thermal Probe Measurements of Energy Flux onto a Substrate during ICP Assisted Sputter-Deposition,
IEEE TENCON 2010, 2010年

Infrared Spectroscopic Study on Hydrogen Plasma Induced Surface Reaction
IEEE TENCON 2010, 2010年

プラスマプロセスにおける「その場・実時間・表面反応解析
九州山口プラズマ研究会, 2010年

トライアングルプラズマによるワイヤストリッパーの開発
九州山口プラズマ研究会, 2010年

Substrate temperature effects on amorphous carbon deposition process during acetylene plasma, investigated infrared spectroscopy
7th International Conference on Reactive Plasma, 28th Symposium on Plasma Processing, and 63rd Gaseous Electronics Conference, 2010年

Infrared Spectroscopic Study on Oxidation of Carbon Related Materials for Environmental Solution
7th International Conference on Reactive Plasma, 28th Symposium on Plasma Processing, and 63rd Gaseous Electronics Conference, 2010年

Infrared spectroscopic study on substrate bias effects on amorphous carbon deposition process during acetylene plasma
7th International Conference on Reactive Plasma, 28th Symposium on Plasma Processing, and 63rd Gaseous Electronics Conference, 2010年

Energy Flux onto a Substrate during ICP Assisted Sputter-Deposition
7th International Conference on Reactive Plasma, 28th Symposium on Plasma Processing, and 63rd Gaseous Electronics Conference, 2010年

Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-Deposition of Al-doped ZnO Thin Films
7th International Conference on Reactive Plasma, 28th Symposium on Plasma Processing, and 63rd Gaseous Electronics Conference, 2010年

重水素プラズマとアモルファス炭素薄膜表面との反応の基板温度依存性
応用物理学会学術講演会, 2010年

アモルファス炭素薄膜の成長過程の基板温度依存性
応用物理学会学術講演会, 2010年

紫外LED を用いたスパッタAl 原子密度の吸収計測
応用物理学会学術講演会, 2010年

プラズマプロセスにおける「その場・実時間」反応過程解析
応用物理学会学術講演会, 2010年

三相交流トライアングルプラズマの放電形態の解析
応用物理学会学術講演会, 2010年

プラズマ－シリコン表面相互作用で誘起される欠陥生成メカニズムの解明
第15回九州薄膜表面研究会, 2010年

Substrate Temperature Effects on Behavior of Surface Hydrogen during Plasma, Investigated with Infrared Spectroscopy
SPSM (Symposium of Plasma Science and Materials), 2010年

Fine Wire Stripping by Line-shaped Triangle-type Plasmas
Asian-Pasific Conference of Plasma Science and Technology (APCPST), 2010年

Energy influx to a substrate during inductively-coupled-plasma assisted sputtering
Asian-Pasific Conference of Plasma Science and Technology (APCPST), 2010年

Discharge Characteristics of Three-Phase AC Triangle Plasmas for Wire Surface Treatment
JSST2010, 2010年

Oxidation process of amorphous carbon film due to oxygen plasma, investigated with infrared spectroscopy
JSST2010, 2010年

多重内部反射赤外分光法を用いたプラズマ誘起表面反応の観察
第15回九州薄膜表面研究会, 2010年

Investigation of amorphous carbon film deposition process
1st International Workshop on Plasma Scientech for All Something, 2010年

誘導結合プラズマ支援スパッタ過程における基板入射熱流束
応用物理学会連合講演会, 2010年

Al添加ZnO薄膜のICP支援スパッタ過程における金属原子の挙動
応用物理学会連合講演会, 2010年

酸素によるアモルファス炭素膜の酸化過程
応用物理学会連合講演会, 2010年

液中プラズマを用いたアモルファス炭素膜の細管内面コーティング
応用物理学会連合講演会, 2010年

DLC Coating to Extra Fine Wire by Quadrupole Magnetron Plasmas and CVD&PVD Hybrid Method
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Influence of Substrate Bias Voltage on Deposition Rate and Refractive Index of Hydrocarbon Thin Films
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Heat Influx to a Substrate during ICP Assisted Sputter-Deposition
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Measurement of Gas Phase Metal Atom Densities during ICP Assisted Sputter-Deposition Process of Al-Doped ZnO Thin Films
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Fine Wire Stripping by Hybrid Plasmas at Medium Pressures
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Oxidation process of an amorphous carbon film
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Generation of Three-Phase AC Triangle Plasmas for Fine Wire Stripping
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Interactions between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films
Symposium on Plasma Processing 2010, 2010年

Thermal probe measurements of energy flux onto a substrate in inductively coupled plasmas
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Measurement of metal atom densities during sputter-deposition of Al-doped ZnO thin films
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Generation of Three-Phase AC Triangle Plasmas for Fine Wire Stripping
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Fine Wire Stripping by Hybrid Plasmas at Medium Pressures
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

DLC Coating on Extra Fine Wire by Quadrupole Magnetron Plasmas and CVD&PVD Hybrid Method
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Diamond Coating on Extra Fine Wire by Quadrupole Magnetron Plasmas
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Plasma generation in organic solvent for amorphous carbon Film deposition inside a narrow tube
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Oxidation process of amorphous carbon film due to oxygen plasma, investigated with infrared spectroscopy
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Effects of hydrogen plasma exposure on amorphous carbon film surface, investigated with infrared spectroscopy
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2010, 2010年

Analysis of defect generation mechanizm due ro the interaction between plasma and Si surface
2010年

Substrate Temperature Effects on Behavior of Surface Hydrogen during Plasma, Investigated with Infrared Spectroscopy
2010年

Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions
2010年

酸素プラズマによるアモルファス炭素薄膜の酸化
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

四重極マグネトロンプラズマを用いた極細ワイヤへのナノダイヤモンド合成
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

四重極マグネトロンプラズマを用いたCVD ＆PVD ハイブリッド法による極細ワイヤへのDLC コーティング
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

ワイヤストリッピング用三相交流トライアングルプラズマの放電特性
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

ICP 支援スパッタによるAl 添加ZnO 薄膜作成過程における金属原子密度の吸収分光計測
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

中気圧ハイブリッドプラズマを用いたCuZnO ワイヤエッチング
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

ICP 支援マグネトロンスパッタ過程におけるサーマルプローブによる熱流束測定
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

水素プラズマによるアモルファス炭素薄膜のエッチング過程
プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部 第１２回支部大会, 2009年

Advanced Plasma CVD Processing and Diagnostics for Medical Uses
TACT 2009 International Thin Films Conference (TACT 2009), 2009年

Substrate Bias Effects on Amorphous Carbon Film Deposition
19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009, 2009年

Amorphous Carbon Deposition Using Plasma in Organic Solvent
19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009, 2009年

Oxidation Process of Amorphous Carbon Film, Investigated with Infrared Spectroscopy
19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009, 2009年

Interaction of hydrogen plasma with amorphous carbon films deposited using acetylene plasma
19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009, 2009年

Investigation of Deposition Process of Amorphous carbon film using acetylene plasma
19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009, 2009年

Al添加ZnO薄膜のICP支援マグネトロンスパッタにおける金属原子密度の吸収分光計測
応用物理学会九州支部学術講演会, 2009年

誘導結合プラズマ支援マグネトロンスパッタ過程における熱流速測定
応用物理学会九州支部学術講演会, 2009年

光干渉法による炭化水素薄膜形成過程のその場モニタリング
応用物理学会九州支部学術講演会, 2009年

酸素プラズマを用いたアモルファス炭素薄膜への水酸基の導入
応用物理学会九州支部学術講演会, 2009年

アモルファス炭素薄膜の水素プラズマによるエッチング過程
応用物理学会九州支部学術講演会, 2009年

アセチレンを原料として用いたプラズマCVD法によるアモルファス炭素膜の成膜反応
表面科学会講演大会, 2009年

酸素分子・酸素プラズマによるアモルファス炭素膜の酸化反応
表面科学会講演大会, 2009年

誘導結合プラズマ支援マグネトロンスパッタ過程における熱流束の測定
電気関係学会九州支部連合大会, 2009年

Al 添加ZnO 薄膜のICP 支援マグネトロンスパッタにおける金属原子密度の吸収分光計測
電気関係学会九州支部連合大会, 2009年

光反射干渉法によるDLC 薄膜形成過程のその場モニタリング
電気関係学会九州支部連合大会, 2009年

Absorption Measurement of Metal Atom Density in ICP Assisted Sputter-Deposition of Al-doped ZnO Thin Films
Dry Process Symposium, 2009年

Monitoring of Growth and Removal of Hydrocarbon Thin Films by Optical Reflectance Interference
Dry Process Symposium, 2009年

LOW PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION IN A MAGNETIZED FIELD
7th International Workshop on "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications, 2009年

Infrared spectroscopic study on amorphous carbon deposition process using acetylene plasma
Plasma Surface Engineering in Asia, 2009年

Interaction of hydrogen plasma with an amorphous carbon deposition process using acetylene plasma
Plasma Surface Engineering in Asia, 2009年

Diagnostic Study of ICP Assisted Sputter-Deposition of Al-doped ZnO Thin Films
International Symposium on Plasma Chemistry 19, 2009年

Dependences of growth process of amorphous carbon films on the different source gases: methane and acetylene
International Symposium on Plasma Chemistry 19, 2009年

LOW PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION BY ECR RELATED MAGNETIZED PLASMAS
17th International Colloquium on PLASMA PROCESSES, 2009年

Absorption Measurement of Metal Atom Density during ICP-Assisted Magnetron Sputter-Deposition of Al-doped ZnO Thin Films
22nd Symposium on Plasma Science for Materials, 2009年

Difference of deposition process of an amorphous carbon film due to source gases
22nd Symposium on Plasma Science for Materials, 2009年

原料によるアモルファス炭素膜の堆積過程の違い
第14回九州薄膜表面研究会(九州表面・真空研究会2009), 2009年

原料によるアモルファス炭素膜の堆積過程の違い
電気学会プラズマ研究会, 2009年

アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の堆積過程の基板バイアス依存性
電気学会プラズマ研究会, 2009年

準共鳴ＥＣＲ条件における固体壁マイクロプラズマの効率的生成
応用物理学関係連合講演会, 2009年

アセチレンを原料として用いたアモルファス炭素膜堆積
応用物理学関係連合講演会, 2009年

Influence of hydrogen addition on the electrical and optical properties of Al-doped ZnO thin films deposited by ICP assisted sputtering
Plasma Science Symposuim 2009, 2009年

Simple monitoring of deposition/removal processes of hydrocarbon thin films by optical reflectance interferometry
Plasma Science Symposuim 2009, 2009年

Plasma diagnostics in ICP assisted sputter-deposition process of Al-doped ZnO thin films
Plasma Science Symposuim 2009, 2009年

Trial of surface modification due to solution plasma
Plasma Science Symposuim 2009, 2009年

Influence of amorphous carbon film deposition on source gases
Plasma Science Symposuim 2009, 2009年

Surface Modification due to Solution Plasma
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Source Molecular Effect on Amorphous Carbon Film Deposition
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Substrate Bias Effect on Deposition Process of Amorphous Carbon Films
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Generation of Micro Plasma Surrounded by Solid Wall for Sub-ECR Condition
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

CVD・PVD Hybrid DLC Coating on Extra Fine Wire by Quadrupole Magnetron Plasmas
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Inner Wall DLC Coating of Narrow Tubes
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Observation of Arcing in DC Magnetron Sputtering of AZO Target
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Absorption measurement of Zn atom density during ICP-assisted magnetron sputter-deposition of Al-doped ZnO thin films
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Influence of hydrogen addition on electric and optical properties of sputter-deposited aluminum-doped zinc oxide thin films
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

Monitoring of Chemical Vapor Deposition Process of Hydrocarbon Thin Films by Optical Reflectance Interferometry
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009, 2009年

LOW PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION IN A MAGNETIZED FIELD
2009年

29. 四重極マグネトロンプラズマを用いた極細ワイヤへのCVDPVDハイブリッドDLCコーティング
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第11回支部会, 2008年

準共鳴ECRにおける固体壁マイクロプラズマの生成
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第11回支部会, 2008年

原料ガスによるアモルファス炭素薄膜の成長過程のちがい
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第11回支部会, 2008年

アモルファス炭素薄膜の成長過程におけるバイアス効果
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第11回支部会, 2008年

Al 添加ZnO 薄膜の誘導結合プラズマ支援マグネトロンスパッタにおけるZn 原子密度の吸収分光計測
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第11回支部会, 2008年

AZO ターゲットを用いたDC マグネトロンスパッタリングにおけるカソードスポットの観測
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第11回支部会, 2008年

Al 添加ZnO スパッタ薄膜の成膜速度と導電率の水素添加依存性
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第11回支部会, 2008年

13. Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma Processing for Bio-application
13. Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma Processing for Bio-application, 2008年

Infrared Study of Interaction between Plasma and Film Surface
Memorial Symposium on Nano-Dynamics AGREEMENT ON ACADEMIC COOPERATION BETWEEN NAGASAKI UNIVERSITY AND UNIVERSITY OF BARI, 2008年

Al添加ZnOターゲットの直流マグネトロンスパッタにおけるアーキングの観察
応用物理学会九州支部学術講演会講演会, 2008年

MgOコート電極を用いた低気圧マイクロプラズマの生成とその効果
応用物理学会九州支部学術講演会講演会, 2008年

アモルファス炭素薄膜の成膜プロセスに及ぼすバイアス効果
応用物理学会九州支部学術講演会講演会, 2008年

アセチレンとメタンで成膜したアモルファス炭素膜の成長過程の比較
応用物理学会九州支部学術講演会講演会, 2008年

2nd Harmonic ECRマイクロプラズマを用いた細管内壁面へのDLCコーティングに及ぼすRFバイアス効果
応用物理学会九州支部学術講演会講演会, 2008年

17. 四重極マグネトロンプラズマを用いた極細ワイヤへのCVD・PVDハイブリッドDLCコーティング
応用物理学会九州支部学術講演会講演会, 2008年

DLC成膜プロセスの制御と新規製造法の開発
長崎大学コラボ産学官交流会2008, 2008年

Growth Mechanism of Diamond-like Carbon film
the 55th International Syposium of American Vacuum Society, 2008年

The 2nd Harmonic ECR Microplasma in Narrow Closed Space for Low Pressure Conditions
61st Annual Gaseous Electronics Conference, 2008年

AZOターゲットを用いたマグネトロンカソードにおけるアークスポットの挙動
電気関係学会九州支部連合大会, 2008年

アクチノメトリ法によるDLC 薄膜形成用プラズマ中の水素原子密度測定
電気関係学会九州支部連合大会, 2008年

誘導結合プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるAl添加ZnO薄膜の成膜条件の最適化
電気関係学会九州支部連合大会, 2008年

Al添加ZnO薄膜のICP支援スパッタ成膜プロセスにおける水素添加の影響
電気関係学会九州支部連合大会, 2008年

DEPOSITION OF ALUMINUM DOPED ZINC OXIDE THIN FILM USING INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ASSISTED SPUTTERING
International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008), 2008年

INVESITGATTION OF GROWTH PROCESS AMORPHOUS CARBON FILM DURING PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008), 2008年

Al 添加ZnO ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおけるアーキング現象の観察
応用物理学会学術講演会, 2008年

メタン・水素ICP 中水素原子密度のアクチノメトリ法による測定
応用物理学会学術講演会, 2008年

アモルファス炭素膜堆積の基板温度依存性
表面技術協会講演会, 2008年

アモルファス炭素膜の成膜機構
電気学会プラズマ研究会, 2008年

アモルファス炭素膜の成長の赤外分光解析
第12回九州薄膜・表面研究会, 2008年

Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma CVD Process
INTERFINISH2008-17th World Congress & Exposition, 2008年

DEPOSITION OF ALUMINUM-DOPED ZINC OXIDE THIN FILMS USING ICP ASSISTED SPUTTERING
JSST 2008, 2008年

表面水素の反応制御によるダイアモンド・ライク カーボン薄膜のプラズマ化学気相堆積の制御
花王芸術・科学財団成果発表会, 2008年

アモルファス炭素膜の成膜中における水素の引き抜き効果
応用物理学会連合講演会, 2008年

マイクロプラズマ源の開発
平成19年度長崎大学コラボ産学官交流会, 2008年

DLC膜の成膜法の開発
平成19年度長崎大学コラボ産学官交流会, 2008年

Investigation of Deposition Process of Amorphous carbon Film
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008, 2008年

Generation of Solution Plasma for Surface Treatment
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008, 2008年

Low-Pressure Micro Plasma Generation Using Microwave in a Mirror Magnetic Field
Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008, 2008年

スパッタAZO薄膜抵抗率分布のICP支援による平坦化
the 25th Symposium of Plasma Processing, 2008年

アモルファス炭素膜からの水素の引き抜き効果の基板温度依存性
the 25th Symposium of Plasma Processing, 2008年

アモルファス炭素膜のプラズマ成膜プロセスの赤外分光法観察
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2007年

Investigation of Interaction between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films
the International Conference of Advanced Matreials and Devices (ICAMD2007), 2007年

アクチノメトリ法による炭化水素プラズマ中の水素原子密度測定
応用物理学会九州支部学術講演会, 2007年

誘導結合プラズマ支援スパッタ成膜時の基板温度上昇
応用物理学会九州支部学術講演会, 2007年

アモルファス炭素膜の水素引き抜き効果の基板温度依存性
応用物理学会九州支部学術講演会, 2007年

水素プラズマによるアモルファス炭素膜のエッチング特性
応用物理学会九州支部学術講演会, 2007年

Infrared Spectroscopic Investigation on Hydrogen Plasma Etching,
the 5th Asia-Pacific International Symposium on Basics and Applications of Plasma Technology, 2007年

Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma Processing
the 5th Asia-Pacific International Symposium on Basics and Applications of Plasma Technology, 2007年

19. 表面反応，水素含有量，Si-DLC，フレキシブルDLC~アモルファス炭素膜の表面反応を中心に~
日本学術振興会プラズマ材料科学153委員会研究会, 2007年

Infrared spectroscopic study of behavior of hydrogen in silicon
29th international Symposium of Dry Procressing, 2007年

Influence of RF power on the film properties of aluminum doped zinc oxide deposited by inductively coupled plasma assisted sputtering
29th international Symposium of Dry Procressing, 2007年

プラズマCVD法を用いたアモルファス炭素膜の堆積過程の赤外分光法観察
九州山口プラズマ研究会, 2007年

アルミ添加酸化亜鉛スパッタ薄膜の導電性に及ぼす誘導結合プラズマ支援効果
応用物理学会九州支部シンポジウム, 2007年

プラズマ－固体表面相互作用の赤外分光計測
応用物理学会九州支部シンポジウム, 2007年

Tube Inner Functional Coatings by Low-Pressure Microplasmas
the First International Workshop on Nanotechnology and Applications, 2007年

Microplasmas and Their Application to Tube Inner Coating
International Workshop on Microplasma, 2007年

Sputter-Deposition of Aluminum-Doped Zinc Oxide Thin Films by Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2007年

LOW-PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION USING MICROWAVE IN A MIRROR MAGNETIC FIELD
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2007年

Measurements of H density in H2/Ar and CH4/Ar Inductively Coupled Plasmas Using Conventional Actinometry
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2007年

DEFFERENCE OF ETCHING OF AMORPHOUS CARBON FILMS BETWEEN BY HYDROGEN IONS AND BY HYDROGEN RADICALS
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2007年

EFFECTS OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON HYDROGEN PLASMA ETCHING OF AMORPHOUS CARBON FILMS
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2007年

EFFECTS OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON AMORPHOUS CARBON FILM GOWRTH, INVESTIGATED INFRARED SPECTROSCOPY
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2007年

低気圧マイクロプラズマの生成とその機能性薄膜作成プロセスへの応用
表面技術協会講演大会, 2007年

誘導結合プラズマ支援によるAl添加ZnOスパッタ薄膜の導電性向上
応用物理学会秋季学術講演会, 2007年

水素プラズマ処理によるアモルファス炭素膜中の水素吸着状態の変化(2)
応用物理学会秋季学術講演会, 2007年

Sputter-Deposition of Aluminum-Doped Zinc Oxide Thin Films Assisted by Inductively Coupled Plasma
18th International symposium on plasma chemistry,, 2007年

Concentration Measurement of H density in H2/Ar and CH4/Ar ICPs by Optical Actinometry
18th International symposium on plasma chemistry,, 2007年

Dependence of Adsorption of Hydrocarbon Species during PECVD on Substrate Temperatures
18th International symposium on plasma chemistry,, 2007年

Investigation of interaction of hydrogen plasma with amorphous carbon film
18th International symposium on plasma chemistry,, 2007年

Tube Inner Sputter Coating by Low-Pressure Microplasmas
the 20th Symposium of plasma science for Materials, 2007年

アモルファス炭素膜と水素プラズマの反応過程の赤外分光解析
第12回九州薄膜・表面研究会, 2007年

Al添加ZnOスパッタ薄膜の導電性と成膜速度に及ぼす誘導結合プラズマ支援効果
応用物理学会連合講演会, 2007年

H2/Ar-ICP中水素原子密度とCH4/Ar-ICP中水素原子密度とのアクチノメトリ法による比較
応用物理学会連合講演会, 2007年

水素プラズマ処理によるアモルファス炭素膜中の水素吸着状態の変化
応用物理学会連合講演会, 2007年

炭素材料プロセスにおける炭化水素種の吸着状態の赤外分光解析
大阪大学接合科学研究所 特別講演会・研究集会, 2007年

極細管内壁フレキシブルDLCコーティングプロセス
大阪大学接合科学研究所 特別講演会・研究集会, 2007年

Dependence of adsorption of hydrocarbon species generated in a methane plasma on substrate temperatures
the 24th Symposium of Plasma Processing, 2007年

Effects of hydrogen plasma treatment on amorphous carbon films
the 24th Symposium of Plasma Processing, 2007年

Comparison of H density in Hydrogen/Ar and Methane/Ar ICPs
the 24th Symposium of Plasma Processing, 2007年

Deposition of AZO Thin Films by ICP Assisted Magnetron Sputtering
the 24th Symposium of Plasma Processing, 2007年

アクチノメトリ法による炭化水素プラズマ中の水素原子密度測定
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2006年

誘導結合プラズマ支援スパッタリングによるAZO薄膜の低温形成
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2006年

アモルファス炭素膜の水素プラズマ処理
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2006年

プラズマCVD法を用いたDLC薄膜形成過程の赤外分光解析
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2006年

19 Low Temperature Deposition of Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films by ICP Assisted Sputtering
第16回日本MRS学術シンポジウム, 2006年

Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma
第16回日本MRS学術シンポジウム, 2006年

Interaction of Hydrogen Plasma with Hydrocarbon Species
第16回日本MRS学術シンポジウム, 2006年

水素化アモルファス炭素薄膜形成過程の基板温度依存性
応物学会九州支部学術講演会, 2006年

誘導結合プラズマ支援スパッタによるアルミ添加酸化亜鉛薄膜の形成
九州山口プラズマ研究会(11月4-5日), 2006年

13 「生体分子・半導体複合デバイス」を目指したアモルファス炭素膜の形成およびその成長メカニズムの理解
応物シンポジウム, 2006年

誘導結合プラズマ支援スパッタリング法を用いたAlドープ酸化亜鉛薄膜形成
応物シンポジウム, 2006年

医療用ツールへの応用を目指した極細管内壁コーティング法の開発
表面技術協会ナノテク部会研究会, 2006年

PECVD法による炭素系薄膜形成の理解のためのリアルタイム赤外分光解析
表面技術協会ナノテク部会研究会, 2006年

走査型2ndハーモニックECRマイクロプラズマを用いた細管内壁コーティング
応用物理学会秋季学術講演会, 2006年

アモルファス炭素薄膜成膜における基板温度依存性
応用物理学会秋季学術講演会, 2006年

誘導結合プラズマ支援スパッタリングを用いたAl 添加ZnO 薄膜の形成
応用物理学会秋季学術講演会, 2006年

炭化水素誘導結合プラズマ中の水素原子密度のアクチノメトリによる評価
応用物理学会秋季学術講演会, 2006年

Discharge characteristics of inductively-coupled-plasma assisted dc planar magnetron for the deposition of aluminum-doped zinc oxide thin films
第8回プラズマ科学技術に関するアジア・太平洋会議(8ｔｈ APCPST), 2006年

Measurements of atomic hydrogen concentrations in H2/Ar and CH4/Ar inductively coupled plasmas using conventional actinometry
第8回プラズマ科学技術に関するアジア・太平洋会議(8ｔｈ APCPST), 2006年

Interaction between hydrogen plasma and carbon film, investigated by infrared spectroscopy
第8回プラズマ科学技術に関するアジア・太平洋会議(8ｔｈ APCPST), 2006年

Effects of the substrate temperatures on the chemical bonding configuration of hydrocarbon species in carbon films, investigated by infrared spectroscopy
第8回プラズマ科学技術に関するアジア・太平洋会議(8ｔｈ APCPST), 2006年

Oxygen plasma induced decomposition of organosilane molecules
第8回プラズマ科学技術に関するアジア・太平洋会議(8ｔｈ APCPST), 2006年

低気圧マイクロプラズマによる極細管内壁コーティング
第１１回九州薄膜・表面研究会 (兼 応用物理学会九州支部研究会), 2006年

水素化アモルファス炭素膜の成長反応過程の赤外分光観察
第１１回九州薄膜・表面研究会 (兼 応用物理学会九州支部研究会), 2006年

FUNCTIONAL SPUTTER-COATINGS OF INNER SURFACE OF NARROW TUBES BY THE SECOND HARMONIC ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA
JSST 2004, 2006年

Evolution of hydride species on silicon surface during plasma and post-annealing
JSST 2004, 2006年

Sputter Deposition of AZO Thin Films Assisted with Inductively Coupled Plasma
JSST 2004, 2006年

MgO電極を用いた低気圧マイクロプラズマの特性
応用物理学会連合講演会, 2006年

ミラー磁界型セカンドハーモニックECRによる低気圧マイクロプラズマの特性
応用物理学会連合講演会, 2006年

誘導結合プラズマ支援スパッタリングで形成したAZO薄膜の結晶配向性
応用物理学会連合講演会, 2006年

基板バイアスによるDLC薄膜形成中での炭化水素の吸着状態の変化とその成因
応用物理学会連合講演会, 2006年

Deposition of Aluminum Doped Zinc Oxide Films by Inductively Coupled Plasma Assisted Sputtering
ICRP-SPP, 2006年

Controllability of bonding configurations of hydrocarbon species in amorphous carbon films
ICRP-SPP, 2006年

Interaction between hydrogen plasma and carbon film, investigated by infrared spectroscopy
2006年

Effects of the substrate temperatures on the chemical bonding configuration of hydrocarbon species in carbon films, investigated by infrared spectroscopy
2006年

Oxygen plasma induced decomposition of organosilane molecules
2006年

Evolution of hydride species on silicon surface during plasma and post-annealing
2006年

Sputter Deposition of AZO Thin Films Assisted with Inductively Coupled Plasma
2006年

Deposition of Aluminum Doped Zinc Oxide Films by Inductively Coupled Plasma Assisted Sputtering
2006年

Controllability of bonding configurations of hydrocarbon species in amorphous carbon films
2006年

ICP支援マグネトロンスパッタ法により作成したAl添加ZnO薄膜の基板面内均一性
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2005年

有機シリコン分子のプラズマ分解過程
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2005年

プラズマCVD法を用いたDLC薄膜形成過程の赤外分光解析
プラズマ核融合学会九州支部大会, 2005年

Oxygen Plasma Induced Decomposition of Organosilicon Molecules
第15回日本MRS学術シンポジウム, 2005年

Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-Deposition of Magnesium Oxide Thin Films
第15回日本MRS学術シンポジウム, 2005年

Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-Deposition of Aluminum-Doped Zinc Oxide Thin Films
第15回日本MRS学術シンポジウム, 2005年

Deposition Process of Hydrocarbon Species Generated in Hydrocarbon Plasma and Its Thermal Decomposition
第15回日本MRS学術シンポジウム, 2005年

Growth mechanisms of carbon related films deposited by a plasma CVD method and application of the films to DNA identification
第15回日本MRS学術シンポジウム, 2005年

Oxygen plasma induced decomposition of BTMSM and HMDSO molecules
ICAMD2005, 2005年

Aluminium Doped Zinc Oxide Films Deposition Using Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering
The 27th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DRY PROCESS (DPS 2005), 2005年

ダイヤモンド状炭素薄膜成長過程への基板バイアスの効果
応物学会九州支部学術講演会, 2005年

酸素プラズマ照射による有機シリコン分子の分解
応物学会九州支部学術講演会, 2005年

誘導結合プラズマ支援スパッタによる酸化物薄膜の室温形成
九州山口プラズマ研究会, 2005年

FT-IRによる有機シリコン分子のプラズマ分解過程の観測
応物シンポジウム, 2005年

赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析
応物シンポジウム, 2005年

In-situ/real time観察によるプラズマ中の材料堆積
応物シンポジウム, 2005年

INFLUENCE OF RF POWER AND SUBSTRATE BIAS VOLTAGE ON THE PROPERTIES OF MAGNEISIUM OXIDE THIN FILMS PRODUCED BY ICP-ASSISTED REACTIVE SPUTTERING
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2005年

PULSED SPUTTER-COATING OF INSIDE WALL OF NARROW TUBE BY THE 2ND HARMONIC ECR PLASMAS
Asian and Europe Plasma Surface Engineering, 2005年

Narrow Tube Inner Coating by Low Pressure Micro Plasma Sputtering
17th International symposium on plasma chemistry,, 2005年

The 2nd Harmonic ECR Low Pressure Micro Plasmas
17th International symposium on plasma chemistry,, 2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma
17th International symposium on plasma chemistry,, 2005年

FTIR observation of hydrogen desorption from SiH4 adsorbed SiGe(001) surfaces
First International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics,, 2005年

Hydrogen Desorption from SiH4 Adsorbed SiGe(001) Surfaces
Fourth International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-4), 2005年

誘導結合プラズマ支援反応性スパッタ成膜における基板入射粒子の質量分析
応用物理学関係連合講演会, 2005年

誘導結合プラズマ支援スパッタリングによるアルミ添加酸化亜鉛(AZO)薄膜の形成
応用物理学関係連合講演会, 2005年

SiGe(001) 2 x 1 表面上のSiH4 吸着過程
日本表面科学会東北支部講演会, 2005年

Oxide Thin Film Deposition Using Inductively-Coupled Plasma Assisted Sputtering
Plasma Science Symposium 2005, 2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma
Plasma Science Symposium 2005, 2005年

Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-Deposition of Magnesium Oxide Thin Films
2005年

Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-Deposition of Aluminum-Doped Zinc Oxide Thin Films
2005年

Deposition Process of Hydrocarbon Species Generated in Hydrocarbon Plasma and Its Thermal Decomposition
2005年

Growth mechanisms of carbon related films deposited by a plasma CVD method and application of the films to DNA identification
2005年

Oxygen plasma induced decomposition of BTMSM and HMDSO molecules
2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma
2005年

FTIR observation of hydrogen desorption from SiH4 adsorbed SiGe(001) surfaces
2005年

Hydrogen Desorption from SiH4 Adsorbed SiGe(001) Surfaces
2005年

Infrared spectroscopic study of the deposition process using methane plasma method and application of the films to DNA identification
2005年

セカンドハーモニックECRを用いた低気圧マイクロプラズマ源とその応用
第15回日本MRS学術シンポジウム, 2004年

サブサーフェスとプラズマ
プラズマ・核融合学会第21回年会講演会, 2004年

2nd Harmonic ECRによる低気圧マイクロプラズマの特性
プラズマ・核融合学会第21回年会講演会, 2004年

プラズマ－表面反応プロセスにおける水素の反応ダイナミクス
九州山口プラズマ研究会(11月4-5日), 2004年

インテリジェントプラズマプロセスによるシリコンウエハクリーニング洗浄の開発に向けて
2004年（第5回）全九州半導体技術フォーラムin宮崎, 2004年

メタンプラズマCVD法による薄膜形成過程の赤外分光解析
電気学会プラズマ研究会, 2004年

13. 誘導結合プラズマ併用反応性スパッタリング法による酸化物薄膜の低温成膜
「コラボ産学交流会 in TOKYO (NAGASAKI)」, 2004年

SiGe(001)表面上のSiH4吸着過程
応用物理学会秋季学術講演会, 2004年

メタンプラズマで堆積した薄膜の熱処理効果の赤外分光観察
応用物理学会秋季学術講演会, 2004年

半導体表面上でのプラズマ誘起表面水素反応の赤外分光観察
プラズマエレクトロニクスサマースクール, 2004年

Plasma induced reaction on Si surface hydrogen investigated by infrared spectroscopy
2004年 Nagasaki Workshop on Next Generation Semiconductor and Processing, 2004年

INFLUENCES OF SUBSTRATE BIAS AND TEMPERATURE ON MgO THIN FILMS PRODUCED BY ICP-ASSISTED SPUTTERING
７th APCPST and 17th SPSM, 2004年

EVOLUTION OF HYDRIDE SPECIES ON A SILICON SURFACE DURING METHANE PLASMA INVESTIGATED BY IN-SITU INFRARED SPECTROSCOPY
７th APCPST and 17th SPSM, 2004年

THERMAL DECOMPOSITION OF HYDRIDE SPECIES ON A HYDROGENATED CARBON FILM DEPOSITED BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
7ｔｈ APSPCT and 17th SPSM, 2004年

半導体表面上でのプラズマ誘起表面水素反応の赤外分光観察
第９回九州薄膜・表面研究会, 2004年

GROWTH PROCESS OF DLC FILMS INVESTIGATED BY IN-SITU INFRARED SPECTROSCOPY
JSST 2004, 2004年

メタンプラズマを用いた薄膜形成過程における炭化水素の結合状態の赤外分光法観察
応用物理学関係連合講演会, 2004年

X-ray diffraction of magnesium oxide thin films produced by reactive ionized sputtering
Symposium of Plasma Processing 2004, 2004年

Behavior of hydrogen on Si surface during oxygen-plasma
Symposium of Plasma Processing 2004, 2004年

2nd Harmonic ECR plasma at Low pressure and its application
2004年

Sibsurface and Plasma
2004年

Characteristics of low pressure micro-plasma using 2nd Harmonic
2004年

Infrared spectroscopy of growth process of diamond like carbon film using methane plasma-CVD
2004年

Adsorption of Silane on SiGe(001) surface
2004年

Thermal treatment of the film deposited by methane plasma, investigated by infrared spectroscopy
2004年

Plasma induced hydrogen reaction on Si surface investigated by infrared spectroscopy
2004年

Plasma induced reaction on Si surface hydrogen investigated by infrared spectroscopy
2004年

EVOLUTION OF HYDRIDE SPECIES ON A SILICON SURFACE DURING METHANE PLASMA INVESTIGATED BY IN-SITU INFRARED SPECTROSCOPY
2004年

THERMAL DECOMPOSITION OF HYDRIDE SPECIES ON A HYDROGENATED CARBON FILM DEPOSITED BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
2004年

Surface hydrogenreaction on semiconductor surface investigated by infrared spectroscopy
2004年

GROWTH PROCESS OF DLC FILMS INVESTIGATED BY IN-SITU INFRARED SPECTROSCOPY
2004年

日本MRS

表面技術協会

電子情報通信学会

アメリカ真空学会

表面科学会

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

応用物理学会

Information and Communication Engineering

Society of Electronica

American Vacuum Society

Society of Japan Surface Science

Plasama electronics Branch of Society of Applied Phyics

Society of Applied Phyics

プラズマ-シリコン表面相互作用で誘起される欠陥生成メカニズムの解明
2010年, 2012年

「プラズマプロセスの制御によるアモルファス炭素膜の揺らぎのない成膜プロセスの創成
2008年, 2012年

生体親和性DLC形成メカニズムの解明
2008年, 2009年

液中プラズマを用いた医療用チューブ内面へのDLCコーティング技術の創成
2008年, 2009年

ダイヤモンド・ライク カーボン薄膜成長メカニズムの解明
2008年, 2009年

Investigation of the growth mechanism of bio-compatible DLC films
2008年, 2009年

表面水素の反応制御によるダイアモンド・ライク・カーボン薄膜のプラズマ化学気相堆積の制御
2007年, 2008年

赤外分光法を用いたDLC形成メカニズムの解明
2006年, 2008年

固体壁微小空間における高電離度マイクロプラズマの生成
2006年, 2008年

「歯科治療用プラズマプロセスの開発」
2006年, 2008年

チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化
2006年, 2008年

Investigation of the growth mechanism of DLC film, using infrared spectroscopy
2006年, 2008年

CVD法によるDLC形成メカニズムの解明
2006年, 2007年

Investigation of the growth mechanism of DLC films prepared with CVD method
2006年, 2007年

ハーモニックECRプラズマによる極細管内壁コーティング法の研究
2005年, 2007年

国際会議(AEPSE2007)開催助成
2007年

国際会議(AEPSE2007)開催助成
2007年

国際会議(AEPSE2007)開催助成 (2007.2) 10万円 採択
2007年

DLC形成メカニズムの解明
2005年, 2006年

Investigation of the growth mechanism of DLC film
2005年, 2006年

ダイヤモンド・ライク カーボン薄膜成長メカニズムの解明
2003年, 2004年

第11回 プラズマエレクトロニクスサマースクールテキスト
2003年, 2004年

low-K膜 形成過程の解明
2003年, 2004年

Formation process of low-K films
2003年, 2004年

ダイヤモンド・ライク カーボン薄膜成長メカニズムの解明
2002年, 2003年

第10回 プラズマエレクトロニクスサマースクールテキスト
2003年

大気圧プラズマが誘起する反応の解明
科学研究費補助金
2009年 - 2011年

プラズマが誘起するシリコン中の欠陥生成メカニズムの解明
科学研究費補助金
2009年 - 2011年

Analysis of reactinos induced by air-pressure plasma
Grant-in-Aid for Scientific Research
2009年 - 2011年

Analysis of defect-generation in Si induced by plasma
Grant-in-Aid for Scientific Research
2009年 - 2011年

液中プラズマを用いた膜堆積・エッチング
2008年

アモルファス炭素膜の表面修飾法の開発研究
共同研究
2008年

Deposition and etching, using solution plasma
2008年

Sufrace modification of the amorphous carbon films
Cooperative Research
2008年

Low-k膜の成膜・エッチング法の開発研究
共同研究
2002年 - 2003年

The grwoth and etching of Low-k films
Cooperative Research
2002年 - 2003年

プラズマCVD法を用いた炭素系薄膜の堆積過程の赤外分光法による解明
科学研究費補助金
2003年

Inrared study oon plasma CVD process of amorphous carbon film
Grant-in-Aid for Scientific Research
2003年

SiおよびSiC結晶成長に関する研究
科学研究費補助金
1998年 - 2002年

Study on crystal growth of Si and SiC
Grant-in-Aid for Scientific Research
1998年 - 2002年

アモルファス炭素膜の成膜メカニズムの解明
共同研究
2001年

水素プラズマとSi表面水素の相互作用に関する研究
科学研究費補助金
2001年

プラズマ固体表面相互反応の解析
科学研究費補助金
2001年

Interaction on hydrogen plasma with Si surfaces
Grant-in-Aid for Scientific Research
2001年

Surface Reaction During Plasma CVD
Grant-in-Aid for Scientific Research
2001年

パイライト薄膜形成に関する研究
経常研究
1996年 - 1999年

a Study on Growth of Pyrite films
Ordinary Research
1996年 - 1999年

親水性炭素質膜の製造方法及び製造装置